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【求助】EPMA无法抽到真空

  • 蓝色月夜
    2009/07/09
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 今天早上仪器无法抽真空度到0.001pa 大约抽了一个小时
    仪器：EPMA-1600 03年买的
相关话题
    +关注 私聊

  • netasp

    第1楼2009/09/01

    估计是漏气了，拆开擦干净一些接口，特别是常要开关的真空阀门

0
    +关注 私聊

  • annelugel

    第2楼2009/09/01

    同意。

    netasp 发表:估计是漏气了，拆开擦干净一些接口，特别是常要开关的真空阀门

0
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