【求助】分子涡轮泵的转速上不去是怎么问题呀?

侧门是不是没关好。

应助达人

说明系统有漏气，应检查侧板是否压正，放空阀是否拧紧，柱子是否接好等。

也要检查机械泵的工作情况，看是不是运转正常。

学习了，漏气可能性很大，机械泵不能把真空抽到一定程度，分子涡轮泵的速度是上不来的

应助达人

这应该是一种自动保护吧。应该是哪漏气。

应助达人

涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。可能如果达不到合适的真空度，也就达不到分子流状态，那样涡轮分子泵就不能正常工作。

检查3处：
1，用无尘纸擦下侧门橡胶框。
2，确认石墨垫并扭紧柱子与离子源连接处的螺丝。
3，侧门那颗螺丝不要先上紧在抽真空。有时螺丝丝纹会卡住，导致侧门不能紧闭。