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【分享】单晶Si厚度和颜色对照图

  • 蓝莓口香糖
    2009/08/21
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 以前用过一张Gatan凹坑仪配的单晶硅厚度和颜色的示意图,做截面样品的时候很有用。现在找不到了,跟Gatan联系也没有回音。于是自己根据记忆画了一张,跟原图误差应该不大,需要的同学可以拿去试用一下。图上标注的绝对厚度其实不重要,有些偏差也没关系。这张图最有用的是通过几次实验之后找到最适合自己样品的颜色,控制好离子减薄时间,提高制样成功率和效率。
    需要注意,颜色跟能带宽度关系很大。这张图只适用于纯净或普通掺杂的单晶硅基底,能带间隙1.1eV左右。对于TiN也能用,颜色略有变化。Ge和GaN的能带间隙分别是0.66eV和3.5eV,这张图完全失效。
    另外,光源也很重要。在冷光源照明的显微镜下看不到这么明显的颜色变化,需要用白炽灯或者卤素灯作光源才行。



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  • 大陆

    第1楼2009/08/21

    自己动手画出这样的图,显见蓝莓一定是个薄膜TEM制样高手!

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  • linshiafeng

    第2楼2009/08/23

    最近做Si基底薄膜界面样品做到崩溃啊,老师讲过,在凹坑仪中看到透光才算好。可我怎么总是看不到,再过两下就磨没了。不知道各位用的什么研磨膏,我用2.5微米金刚石研磨膏是不是太粗了。

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  • 蓝莓口香糖

    第3楼2009/08/23

    抛光要用1微米的。

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  • iamikaruk

    第4楼2009/08/23

    版主做的图片真漂亮,赞!学习一下了

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  • longwood

    第6楼2009/08/28

    版主要不再来个模拟?估计就可以发一篇文章了。
    不知道类似的工作在光学方面如何?算不算小case?

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  • 蓝莓口香糖

    第7楼2009/08/28

    大家太高抬我了。
    这个不算什么,既不深奥,也不是创新。我只是以前用过,照葫芦画葫芦罢了,连照葫芦画瓢都算不上。呵呵
    用颜色判断样品厚度的做法很早就有,我粗略查过一些文献,大家的结果有一定差别,我觉得可能是因为实验条件不完全一样。但是这种差别对于制样来说并不重要,只要始终使用同一套标准就能得到自洽的参数了。

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