ICP-AES的局限性和不足之处是，其设备费用和操作费用较高，样品一般需预先转化为溶液，有的元素（如铷）的灵敏度相当差；基体效应仍然存在，

任何分析技术都有优点与长处，也不可避免地有其局限性和不足之处。ICP-AES也不例外，它有其局限性和不足之处，但其优点与长处已显示了它的生命力，它是20世纪分析技术的伟大发明，已为广大分析工作者所公认。

基体效应。它是因基体成分的变化而引起的干扰效应，基体效应有两种类型：① 基体成分的增加使雾化率降低。当溶液中所含酸的浓度以及溶解固体量增加时，溶液的密度、粘度、表面张力也增大，使雾化率降低，分析元素测定的信号强度也随之降低。各种无机酸的影响按以下次序递增：HCl＜HClO4＜H3PO4＜HNO3＜H2SO4。一般都不用磷酸和硫酸作ICP分析的介质，而以盐酸和高氯酸为最佳。② 基体成分的变化影响分析元素的激发过程，从而影响其信号输出。例如大量钾、钠、镁和钙的存在能使背景增加，使其他分析元素的信号受到抑制。其基体效应按下列次序增加：K＜Na＜Mg＜Ca。

总的来说，ICP光谱分析的基体效应相对较小。克服基体效应最有效的办法是使标准溶液与试样溶液进行基体匹配。内标法也是一种好办法。