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【求助】为什么掠入射X射线扫描和常规扫描的峰不在一个位置啊?

X射线衍射仪(XRD)

  • 我的样品是单晶si上镀的sic薄膜 用3°的掠入扫描基片si的峰在56左右 ,,用常规模式,就是测粉末的那种,测得基底的峰在69左右。 这有问题吗 ? 还有一个问题,单晶硅做xrd能有多个衍射峰还是就一个衍射峰啊? 求高人帮忙。
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  • yan_huo

    第1楼2009/12/15

    半天了 也没人帮忙啊 急啊 版主大人呢

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  • danyan0629

    第2楼2009/12/16

    我只能回答,单晶Si的衍射峰有多个,但是来源于互相平行的表面。例如(100)晶向的单晶Si,其XRD 2theta-Omeag扫描可以得到(100)(200)(400)等的衍射峰。

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  • danyan0629

    第3楼2009/12/16

    至于GIXRD时Si在56°是有可能的。我不知道测试人员具体是怎么做的,但是如果之前不对设备进行校准的话,2theta的角度是有可能偏移的。以上仅为个人观点,我对GIXRD理解不够透彻,仅供参考。

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  • XRD

    第4楼2009/12/16

    按照常规衍射,那么,参与衍射的面只是那些与样品表面平行的面(或者近似平行)。如果常规衍射时,只有69度的峰,说明Si是按(400)面切的,即(100)。现在,采用掠入射衍射,则衍射晶面就不是与样品表面平行的面,而一个与样品表面存在一个夹角的面。
    在56度出现一个峰,是(311)面的。说明满足衍射条件的是(311)面。这两个面之间的夹角是25.25度。而56度的一半是28度,减去你掠入射角3度,就是25度。这里都没有考虑小数后面的数字了。

    如果严格地按某个晶面切Si,那么在常规衍射中就只会出现一个峰,但是,如果不是这样,可能会出现几个峰。

    我的几何太差,不知分析对否?

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  • dfnt11

    第5楼2009/12/16

    至于GIXRD时Si在56°是有可能的。我不知道测试人员具体是怎么做的,但是如果之前不对设备进行校准的话,2theta的角度是有可能偏移的。以上仅为个人观点,我对GIXRD理解不够透彻,仅供参考。

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  • yan_huo

    第6楼2009/12/21

    可是我算的400 面和311面得夹角并不是25度啊,你怎么算的是25度呢

    XRD(huangjw) 发表:按照常规衍射,那么,参与衍射的面只是那些与样品表面平行的面(或者近似平行)。如果常规衍射时,只有69度的峰,说明Si是按(400)面切的,即(100)。现在,采用掠入射衍射,则衍射晶面就不是与样品表面平行的面,而一个与样品表面存在一个夹角的面。
    在56度出现一个峰,是(311)面的。说明满足衍射条件的是(311)面。这两个面之间的夹角是25.25度。而56度的一半是28度,减去你掠入射角3度,就是25度。这里都没有考虑小数后面的数字了。

    如果严格地按某个晶面切Si,那么在常规衍射中就只会出现一个峰,但是,如果不是这样,可能会出现几个峰。

    我的几何太差,不知分析对否?

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  • 大陆

    第7楼2009/12/21

    因为你算错了。
    //我算的结果也是25度。

    yan_huo(yan_huo) 发表:可是我算的400 面和311面得夹角并不是25度啊,你怎么算的是25度呢

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  • yan_huo

    第9楼2009/12/21

    不会吧 我算了几遍了 也算不出来是25度啊 我怎么算出来是76.7度呢

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  • chengjingbao

    第10楼2009/12/21

    贴出计算过程不就得啦!

    yan_huo(yan_huo) 发表:不会吧 我算了几遍了 也算不出来是25度啊 我怎么算出来是76.7度呢

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  • yan_huo

    第11楼2009/12/21

    那位仁兄能给个过程?

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