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【讨论】QBSD 和 YAG BSE探头的优缺点和对比

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • 如题!希望各位大虾指教,找过资料,但都不是很全。貌似是说对元素的质量的敏感程度不一样!希望哪位同仁能提供一下相关的信息和自己的经验。非常感谢!
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  • 驰奔

    第2楼2009/12/25

    QBSD --quadrant back scattering detector 四象限背散射探测器 实质上是一种半导体固体探测器,对低能量损失背散射电子非常敏感,具有很高的空间分辨率,可以和二次电子分辨率媲美,原子序数分辨率>1z,图像灰度等级差。
    四个象限相对电子束中心对称,分别负责背散射信号的数量分量,轨迹分量,能量分量等信号的获得和后续处理。通过信号的加减,可分别获得形貌相,和成分反差像,或者晶体反差像。真正用好不容易,最终再把信号混合在一起。
    价格便宜。

    YAG BSE探头:一体广角YAG型闪烁体+光电倍增管 探测器。 是一种混合信号成像,形貌像和成分反差像,图像灰度等级丰富。。原子序数分辨率>0.1z. 一般在样品室外可移动。价格较贵。

    其实还有一种罗宾逊背散射探测器,也是大广角闪烁体+光电倍增管形式,是目前性能最好混合信号背散射电子探测器,原子序数分辨率>0.001z ,使形貌像和成分反差像完美结合!

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    更多更详细的情况有待专家点评!不正确之处恳请指正

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  • qcz9999

    第3楼2010/09/29

    YAG是啥材质?YAG探测器的工做原理是怎样的?

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  • 驰奔

    第4楼2010/09/30

    是一种单晶闪烁体材料,把电子信号转变为光子信号,后续是光导管和光子倍增器。 基本原理和E-T一样。
    这种材料表面污染后可以清洗,不像常规闪烁体一样转化效率会衰减,寿命无限!

    qcz9999(qcz9999) 发表:YAG是啥材质?YAG探测器的工做原理是怎样的?

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  • asahi42

    第5楼2010/10/01

    钇铝石榴石,闪烁体+光电倍增管,其实就和二次电子探头工作原理差不多 ~

    qcz9999(qcz9999) 发表:YAG是啥材质?YAG探测器的工做原理是怎样的?

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