驰奔
第2楼2009/12/25
QBSD --quadrant back scattering detector 四象限背散射探测器 实质上是一种半导体固体探测器,对低能量损失背散射电子非常敏感,具有很高的空间分辨率,可以和二次电子分辨率媲美,原子序数分辨率>1z,图像灰度等级差。
四个象限相对电子束中心对称,分别负责背散射信号的数量分量,轨迹分量,能量分量等信号的获得和后续处理。通过信号的加减,可分别获得形貌相,和成分反差像,或者晶体反差像。真正用好不容易,最终再把信号混合在一起。
价格便宜。
YAG BSE探头:一体广角YAG型闪烁体+光电倍增管 探测器。 是一种混合信号成像,形貌像和成分反差像,图像灰度等级丰富。。原子序数分辨率>0.1z. 一般在样品室外可移动。价格较贵。
其实还有一种罗宾逊背散射探测器,也是大广角闪烁体+光电倍增管形式,是目前性能最好混合信号背散射电子探测器,原子序数分辨率>0.001z ,使形貌像和成分反差像完美结合!
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更多更详细的情况有待专家点评!不正确之处恳请指正