扫描电镜（SEM/EDS）
fengyonghe
第1楼2009/12/26
看下面的网页：http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20090216/1739155/
rainflying666
第2楼2009/12/28
谢谢！不过那个计算电子束直径的公式看不懂，有好几个参数都不知道是什么，能不能麻烦专家讲解一下呢？
第3楼2009/12/29
第4楼2009/12/29
谢谢专家详细的讲解我是电子束直径的大小那个公式看不懂电子束直径D2＝CS2α6+CC2α2（△V/VACC）2+0.4*I/βα2如有时间，麻烦专家讲解一下哦，非常感谢！
第5楼2009/12/30
电子束直径D2＝CS2α6+CC2 α2（△V/VAcc）2+0.4*I/βα2公式使我们更好的理解电子束直径与电镜各有关变量之间的关系。D：电子束斑直径 Cs：物镜球差系数 α：物镜张开半角rad（弧度） CC：物镜色差系数△V/Vacc：高压不稳定度 β：电子枪亮度 I:束流△V：高压波动值 Vacc：高压 β=A/cm2sr
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