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（已应助）求助中文文献5篇，谢谢zhumenjun1984！

bibibag

2009/12/29

文献检索－互助

【序号】：1
【作者】：董骐; 范毓殿;
【题名】：非平衡磁控溅射及其应用
【期刊】：真空科学与技术
【年、卷、期、起止页码】：1996年 01期
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=ZKKX199601010&dbname=CJFD1996

【序号】：2
【作者】：刘翔宇;
【题名】：磁控溅射镀膜中靶的优化设计
【期刊】：电子科学与技术
【年、卷、期、起止页码】：2005-04-21
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=2005035360.nh&dbname=CMFD2005

【序号】：3
【作者】：胡作启; 李佐宜; 刘卫忠; 熊锐;
【题名】：磁控溅射靶磁场的分布
【期刊】：华中理工大学学报
【年、卷、期、起止页码】：1997年 11期
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=HZLG711.012&dbname=CJFD1997

【序号】：4
【作者】：刘瑞鹏; 李刘合;
【题名】：磁控溅射靶优化设计及其磁场分析
【期刊】：2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【年、卷、期、起止页码】：无
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=ZGDN200610001076&dbname=cpfd2006

【序号】：5
【作者】：张建民; 王立; 梁昌慧;
【题名】：磁控溅射靶源设计及溅射工艺研究
【期刊】：陕西师范大学学报
【年、卷、期、起止页码】：1999年 01期
【全文链接】：http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=SXSZ901.010&dbname=cjfd1999

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