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【原创】应力测量求助

swliza

2010/02/15

X射线衍射仪（XRD）

我用x射线法测材料表面应力：具体如下：

先把材料做热处理，材料表面生成一层氧化层（很薄）。选定基体的高角度衍射峰用sin2y（打不出来那个字符）。算出来的值是负值，这说明是基体上是压应力还是氧化膜内是压应力？

写文章时说基体上是压应力状态，被审稿人批说不对，到底怎么回事啊？请教高手！

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lysldl

第1楼2010/02/15

应该是膜应力

0

qcz9999

第2楼2010/02/22

根据选用的靶及功率判断射线照射深度，膜的厚度判断主要是氧化膜内压应力，（不严格地讲是压应力及氧化膜内压应力的和）

0

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