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【求助】关于聚焦系统

wwjra

2010/02/24

扫描电镜（SEM/EDS）

小弟菜鸟一个，以前也没有接触过SEM，现在我需要设计一个用于冷阴极电子枪的聚焦系统，目的在于把宽电子束汇聚成微米级的光斑，我翻阅了一些SEM电镜的资料，资料上说扫描电镜的汇聚透镜可以达到FM级，也看了一些SEM原理示意图，但那个示意图好简要啊，汇聚线圈只是用一个带叉的方框表示，我想问下有没有电镜磁透镜的详细参数，比如线圈形状、材料、砸数等。还有，我能理解轴上单电子汇聚的基本原理，可是始终不能想象一个宽电子束由电子枪发出后，几乎都以张角可以忽略的轨迹平行运动，怎么能实现汇聚的目的呢？小弟我初学乍到，还请大家指点一下啊，谢谢了！

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蓝莓口香糖

第1楼2010/02/25

这些参数肯定属于工业机密吧，就算不是机密也是专利。

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fengyonghe

第2楼2010/02/27

你说的张角称为孔径角，在全貌的原理图上没有画出4个交叉斑。实际上电子束每经过一次透镜便获得一次聚焦而获得交叉斑。第一个交叉斑属于浸没透镜交叉斑在透镜上方，其余三个交叉斑在透镜下方。4个交叉斑的孔径角分别是3X10^-8，7X10^-5，7X10^-4，1X10^-2（rad）。设计上没有忽略张角，而是经4次汇聚获得最小的交叉斑。
wwjra(wwjra) 发表:小弟菜鸟一个，以前也没有接触过SEM，现在我需要设计一个用于冷阴极电子枪的聚焦系统，目的在于把宽电子束汇聚成微米级的光斑，我翻阅了一些SEM电镜的资料，资料上说扫描电镜的汇聚透镜可以达到FM级，也看了一些SEM原理示意图，但那个示意图好简要啊，汇聚线圈只是用一个带叉的方框表示，我想问下有没有电镜磁透镜的详细参数，比如线圈形状、材料、砸数等。还有，我能理解轴上单电子汇聚的基本原理，可是始终不能想象一个宽电子束由电子枪发出后，几乎都以张角可以忽略的轨迹平行运动，怎么能实现汇聚的目的呢？小弟我初学乍到，还请大家指点一下啊，谢谢了！

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syning90

第3楼2010/03/09

好专业，学习了，呵呵
fengyonghe(fengyonghe) 发表: 你说的张角称为孔径角，在全貌的原理图上没有画出4个交叉斑。实际上电子束每经过一次透镜便获得一次聚焦而获得交叉斑。第一个交叉斑属于浸没透镜交叉斑在透镜上方，其余三个交叉斑在透镜下方。4个交叉斑的孔径角分别是3X10^-8，7X10^-5，7X10^-4，1X10^-2（rad）。设计上没有忽略张角，而是经4次汇聚获得最小的交叉斑。

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