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【求助】关于溅射Cu电极的问题

文献检索－互助

  • 求助射频溅射Cu电极（要不要加热，背底真空度需要多少？会氧化吗？
    ，条件以及注意的事项？
相关话题
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  • 灰米奇

    第1楼2010/04/26

    楼主应该到相关版面去求助，本版仅限文献类求助。

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