nps
第5楼2010/05/11
老飘,我帮你发上来吧,昨天正好遇到了这个现象:
#1213 Error: RF48V power voltage is too low.
#1218 Error: Plasma was shut off.(Plasma RF Monitor)
#1220 Error: Plasma was shut off during Analysis.(Vac)
#1141 Error: Gate valve is closed due to an error while in Analysis Modle.
顺便把我的解决办法说说:
1、确认供电是否有问题,电话询问调度及电力监控台,是否发现电压异常状况,排除;
2、确认氩气供应压力是否剧烈波动,排除;
3、(最常用及最有效的一招),判断有可能某些部位轻微漏气,把雾化室、雾化器、炬管各连接处,炬管进气连接处统统拆送,再逐一拧紧上好。
吹气五分钟后再次点火,成功,未再发生熄火状况。
风起云飘舞
第6楼2010/05/13
小样!呵呵你叫我飘老得了。要白里透红,与众不同!
呵呵的确是上诉的四个报错信息
我也试过你的办法3,有时行,有时不行。最讨厌的是行不通的时候。
那时我只有一步步的排查。最后把线圈的位置动动就好了,有时啥也不动也好点火的。也不清楚到底仪器那部分没准备好。
所以现在能不拆机就不拆,拆完就等着度过一段危险期。然后相安无事到下个拆卸日。
光哥
第7楼2010/05/14
这问题也遇到过一次,那次老是报#1218错误。然后把进样系统全部拆卸下来,各个连接部位缠上生料带,都给缠得像木乃伊了,还是不行;换上石英进样系统,还是不给面子。最后没辙,报修,悲剧的是工程师一到,仪器呼啦啦地工作得欢。郁闷死我了。
顺带请教下,
1、哪种方式判断哪里漏气比较好?
2、最近做样老是堵,基本上是做一个样就要处理一次。大概就是低温赶酸,然后稀释200倍左右,加了甘露醇的。不知各位同仁有出现这种情况么?