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【求助】急问_AES的depth profiling

XPS及其它能谱仪

  • 请问大家

    一般来说，AES在做depth profiling时

    sputter速度一分钟只有个位数的nanometer
    因为我深度想做1 micro meter左右，用AES耗时太久，成本高

    请问何种仪器depthprofiling的sputter速度最快？

    感激不尽
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  • xgq_2001

    第1楼2010/05/27

    SIMS最快，但是要求你的样品导电性好

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