【求助】谁用过天津汇晶生产的CS3500FE

恕我孤陋，还有这个国产货？是不是中国皮外国心哦

[quote]原文由 solo1981(solo1981) 发表: 电子束曝光机特色

CS3500FE系列

一、电子束流的稳定性极高，超过电子探针的指标，可达0.05%/小时。非常适合配

X射线波长色散谱仪（WDS）。它也是世界上唯一的配WDS后，化学元素的定量

分析结果达到电子探针水平的扫描电镜；同时也非常适合做为电子束曝光机的高

稳定光源。

二、镜筒上未配有Through-Lens探测器，而是在原位加入了自动法拉弟笼和在线束

流传感器两个装置，形成电子束流的反馈控制。因此，束流的稳定性得以保证；

三、大工作距离下的成象质量很好，图象景深好；

四、最大束流可达100nA，这也是配WDS很重要的一个指标；

五、有加速电压30KV和50KV两种规格。其中50KV的扫描电镜适宜于组成电子束曝

光机，因为它的前散射范围很小；

六、仪器的分辨率也很高，为1.5nm @ 25kV.

七、能配备电子束消隐装置，这是组成电子束曝光机的重要部件。

有点让我无法相信

非常感谢楼上两位，还有谁有能提供更详细的情况么？？

不好意思搞错了，CS3500FE应该是CamScan生产的。。。
天津汇晶代理而已。