名称 | 检测信号 | 样品 | 分辨率/nm | 基本应用 |
透射电子显微镜（TEM） | 透射电子和衍射电子 | 薄膜和复型膜 | 点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2 | 1形貌分析：显微组织、晶体缺陷 2晶体结构分析； 3成分分析（配附件） |
扫描电子显微镜（SEM） | 二次电子、背散射电子、吸收电子 | 固体 | 6~10 | 1形貌分析：显微组织、断口形貌；2成分分析（配附件）； 3结构分析（配附件）； 4断裂过程动态研究 |
扫描隧道显微镜（STM） | 隧道电流 | 固体（有一定导电性） | 原子级 垂直0.01， 横向0.1 | 1表面形貌与结构：表面原子三维轮廓； 2表面力学行为、表面物理化学研究 |
原子力显微镜 （AFM） | 隧道电流 | 固体（导体、半导体、绝缘体） | 原子级 | 1表面形貌与结构分析； 2表面原子间力与表面力学性质的测定 |
场发射显微镜 （FEM） | 场发射电子 | 针尖状（电极） | 2 | 1晶面结构分析； 2晶面吸附、脱附和扩散等分析 |
场离子显微镜 （FIM） | 正离子 | 针尖状（电极） | 当尖半径为100nm时 室温0.55 低温0.15 | 1形貌分析：直接观察原子组态；2表面重构、扩散等分析 |
fly-fall
第1楼2010/06/17
楼主这是普及电镜知识来了？ FEM还没见过呢。。。楼主可否再说说
名称 | 检测信号 | 样品 | 分辨率/nm | 基本应用 |
透射电子显微镜（TEM） | 透射电子和衍射电子 | 薄膜和复型膜 | 点分辨率0.3~0.5, 晶格分辨率0.1~0.2 | 1形貌分析：显微组织、晶体缺陷 2晶体结构分析； 3成分分析（配附件） |
扫描电子显微镜（SEM） | 二次电子、背散射电子、吸收电子 | 固体 | 6~10 | 1形貌分析：显微组织、断口形貌；2成分分析（配附件）； 3结构分析（配附件）； 4断裂过程动态研究 |
扫描隧道显微镜（STM） | 隧道电流 | 固体（有一定导电性） | 原子级 垂直0.01， 横向0.1 | 1表面形貌与结构：表面原子三维轮廓； 2表面力学行为、表面物理化学研究 |
原子力显微镜 （AFM） | 隧道电流 | 固体（导体、半导体、绝缘体） | 原子级 | 1表面形貌与结构分析； 2表面原子间力与表面力学性质的测定 |
场发射显微镜 （FEM） | 场发射电子 | 针尖状（电极） | 2 | 1晶面结构分析； 2晶面吸附、脱附和扩散等分析 |
场离子显微镜 （FIM） | 正离子 | 针尖状（电极） | 当尖半径为100nm时 室温0.55 低温0.15 | 1形貌分析：直接观察原子组态；2表面重构、扩散等分析 |
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