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【求助】断面样离子减薄,铜片被剪掉,样品没动静

透射电镜(TEM)

  • 悬赏金额:30积分状态:已解决
  • 在蓝宝石衬底上生长的薄膜,要做断面TEM,机械减薄的时候,样品是固定铜环里面的,机械减薄之后又在样品上粘了铜环,这时候在样品周围是有两层铜环的,离子减薄的时候,两层铜片都被剪掉了,样品还是没看出什么变化。难道机械研磨的还是不够薄吗?可是比样品厚的铜环已经被剪掉了啊,连续两个样品都是这种情况,不知道该怎么办了,请大贤指点一二,谢谢!

蓝莓口香糖 2010/06/19

磨到铜环消失不等于厚度就很小。蓝宝石很硬,如果研磨时推进速度太快,样品就会变成边缘薄中间厚的馒头形状。如果减薄仪一直工作正常,比较可能的原因就是样品磨得不够好。可以考虑减慢推进速度,用金刚石砂纸,最后在样品中部用凹坑仪挖一个小坑,这样应该就差不多了。

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  • 蓝莓口香糖

    第1楼2010/06/18

    你机械研磨的最终厚度是多少?用的什么减薄仪?

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  • penguinle

    第2楼2010/06/19

    同上,另外你的ion mill 的focus有没有校对?

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  • liqun1983

    第3楼2010/06/19

    磨到最后,样品外面的铜环已经开始消失了,具体多少厚度没量过,不知道该怎么把握这个厚度,减薄仪也有讲究吗,用的是离子减薄仪

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:你机械研磨的最终厚度是多少?用的什么减薄仪?

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  • liqun1983

    第4楼2010/06/19

    磨到最后,样品外面的铜环已经开始消失了,具体多少厚度没量过,不知道该怎么把握这个厚度,减薄仪也有讲究吗,用的是离子减薄仪,可能是氩离子吧,减薄仪是别人的,据说以前用起来都没有问题,我不知道离子束的的直径有多大,校对以后是不是就不会打到铜片上了?我们的铜片内径1mm。谢谢

    penguinle(penguinle) 发表:同上,另外你的ion mill 的focus有没有校对?

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  • hand

    第6楼2010/06/19

    就是离子束对中的问题,所以打到样品边部了正常,校正对中减小束斑

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  • liqun1983

    第7楼2010/06/19

    谢谢,校正之后是不是就不会打到样品周围的铜环了?

    hand(hand) 发表:就是离子束对中的问题,所以打到样品边部了正常,校正对中减小束斑

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  • 蓝莓口香糖

    第8楼2010/06/19

    磨到铜环消失不等于厚度就很小。蓝宝石很硬,如果研磨时推进速度太快,样品就会变成边缘薄中间厚的馒头形状。如果减薄仪一直工作正常,比较可能的原因就是样品磨得不够好。可以考虑减慢推进速度,用金刚石砂纸,最后在样品中部用凹坑仪挖一个小坑,这样应该就差不多了。

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  • zhangkunlun

    第9楼2010/06/20

    离子减薄中的离子束对中出现问题致得到这样的结果,调校一下即可。蓝宝石样品很坚硬,研磨的时候用抛光机(抛光布换成水砂纸)去进行研磨会快点,。

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