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【求助】请大家对我的样品进行EBSD检测做下分析

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我的样品晶相都很好,粉末,不导电。做EBSD分析时,出现白光,而且菊花图像不清晰,且若隐若现的,后来发现有晶体表面有辐照损伤,哪位知道怎么样去除损伤,得到稳定的菊花图像。我是在样品池里直接放入粉末做的。
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  • 毒菇九剑

    第1楼2010/06/25

    粉末也做上EBSD了?一般不都是块状多晶的样品才能做吗?

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  • 驰奔

    第2楼2010/06/25

    减小电子束损伤:降低加速电压,降低探针电流,非导电或导电不良者溅射导电膜。还有减少像素逗留时间,换句话即提高扫描速度。

    EBSPs的产生条件
    •固体材料,且具有一定的微观结构特征——
    晶体
    –电子束下无损坏变质
    –金属、矿物、陶瓷
    –导体、半导体、绝缘体
    •试样表面平整,无制样引入的应变层——10’s nm
    •足够强度的束流——0.5-10nA
    •高灵敏度CCD相机
    •样品倾斜至一定角度(~70度)

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