【求助】瓦里安ICP 715 线圈、炬管和石英帽烧结

测试条件如下：

会不会是你所用的气源有问题啊？？比如氩气不纯、漏气等

纯度一直没问题。管路不漏气，如果仪器内部漏气该如何检查呢？

你们的用的辅助气是氧气，是不是中心安装的不正确

貌似没出现过类似问题

我的情况比你的严重多了,由于使用过程中造到雷击,他们检查后说,功率管和高压电源出了问题,需要更换,

冷循环出问题了吗？查一下？

高频发生器没事吗？

你的线圈应该没用多久，线圈上有灼烧的痕迹。
这个样子看起来像是点火系统上有东西所以导致点火的时候，电流击穿，联通了炬管，线圈和石英帽。Varian工程师的意思就是，你的这些部件的外部有脏东西，从而导致电流击穿，灼伤了石英帽和线圈。这个跟你每次进样之后清洗进样系统没有关系，因此还需楼主仔细回想石英帽和线圈上面是否有脏东西。只要有不干净的东西，不管是有机的还是金属的，都可能造成击穿。
此外，提供一点个人经验供参考，如果未开氩气，先开循环冷凝水，可能造成线圈凝水，这个会导致击穿；如果循环冷凝水温度不准，也就是过低，也会造成线圈凝水。