【求助】购买SEM的选择（薄膜）

1nm? 那要TEM才能满足要求了吧...

1nm是膜厚，而且应该是个小概率现象；主要想做薄膜表面微观形貌研究，横截面的薄膜生长情况判断等。
不会只能用TEM吧，那样很痛苦的，制个样都麻烦。

冷场只有日立一家做得好吗？

看来没人搭理我，先做个自我批评，小弟学识粗鄙，真心请教各位坛友，欢迎提出批评。

你看看日立，JEOL，和FEI哪家的设备比较适合你了，反正做sem的主要还是这几家，b不过FEI的设备比起日立和JEOL要贵很多

膜厚1nm？
SEM有点费劲
先各家找机器试试把

德国蔡司的电镜比较好！FEI环扫做的好！但是贵点。

期望一种仪器能够解决所有问题，看来都是梦幻了！

我们实验室hitachi 和Fei都有，日立的SEM不错，冷场解析度很好，但想做元素分析的话FEI好一些，电流会大。