第3楼2005/11/14
Shxie,不知你想了解那类样品?常规xps实验:粉末,固体片状,丝状,液体气体要求方法不同。最简单的就是固体导电片状样品,一般用有机溶剂如丙酮等超声清洗(根据固体材料的要求),用簧片(新型电子能谱仪用)压在或用导电胶(一般用银胶,不能太多否则太难抽真空!)粘到导电的样品台上(注意清洁样品台)。立刻装进仪器真空室。尽量不Ar离子刻蚀,即使用要注意Ar离子的能量(一般<3keV)束流大小(一般20uAcm^(-2))和刻蚀时间(一般2min)。同一批样品最好尽可能快地完成实验,溅射时注意正在被溅射样品和未被溅射样品间有足够大的距离,以防离子沉积到另外的样品上。有关制样可参看美国ASTM标准。大家有何高招?