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【求助】光电子能谱仪的样品制备室（预沉积室）问题

XPS及其它能谱仪

  • 大家好，目前想做原位测试金属与半导体接触界面光电子能谱变化情况，主要是先在能谱仪沉积室内蒸镀一层金属，测试金属的功函数和真空能级情况，然后再将样品回传到沉积室，继续蒸镀半导体材料（厚度不同），这样再进行表面光电子能谱分析。
    不过，很多单位没有样品制备室，请问国内有哪些单位有能够进行进行原位沉积、测试的XPS（含UPS）的设备啊？
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    +关注 私聊

  • 七月冰

    第1楼2010/08/24

    就算有，你能用的可能性也很小，所以还是另想办法的好。

0
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  • feixiong5134

    第2楼2010/08/25

    能用原位沉积的地方好像没听说过

0
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  • syuxing

    第3楼2010/09/25

    国内有这样的设备。但是就像二楼说的那样，不太可能给你测。

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