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【讨论】场发射的真空就这么牛?

  • 天黑请闭眼
    2010/09/21
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 有朋友让我做几个样品,要求是先用电子束(最好是EDS模式)对一个点进行1分钟的大电流密度辐照,而后一般就会产生一个污染斑,而后倾转样品,使污染斑变成两个,测量二者间距和倾转角,可以得到样品的大致厚度。

    问题是:俺们的2100F用EDS模式下打了两分钟压根也没见到污染斑,而他说LaB6的2000FX在EDS模式下,1分钟就轻松搞定。那么难道是场发射的真空太好了?楞没有表面污染?还是LaB6的电子束流密度其实远比FE要高的多?

    多谢!
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  • 蓝莓口香糖

    第1楼2010/09/21

    是样品太干净了吧?

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  • 天黑请闭眼

    第2楼2010/09/21

    双喷样品,看起来的确比较干净,可朋友说他看样品也没啥特殊处理啊。难道是样品放置于空气中的时间太短?

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  • yangruirui

    第3楼2010/09/21

    先用电子束(最好是EDS模式)对一个点进行1分钟的大电流密度辐照,而后一般就会产生一个污染斑,而后倾转样品,使污染斑变成两个,测量二者间距和倾转角,可以得到样品的大致厚度。

    这样真的可以测量出样品的厚度吗?我以前试过2100F在EDS模式下是可以打出污染斑的。

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  • 天黑请闭眼

    第4楼2010/09/21

    不太熟悉,好像某本书里面有用这个方法的,也有用迹线法,但首先也要造污染点。
    我们也是2100F,普通碳膜不用EDS模式也能造污染斑,可他的样品不知道为什么一点迹象都没有,是不是聚焦不对劲?

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  • sendtony6

    第5楼2010/09/22

    量試片厚度不是這樣量的...

    看到快昏倒...

    量試片厚度可以用計算thickness fringes

    或是 CBED , EELS等方式去計算~

    絕對不是你朋友說的那樣~

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  • sendtony6

    第6楼2010/09/22

    此外~EDS mode是analysis mode

    電子束本來就非常弱...

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  • iamikaruk

    第7楼2010/09/22

    EDS模式下束流密度可不弱

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  • 蓝莓口香糖

    第8楼2010/09/22

    这是估算样品厚度的方法是有的。

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  • sendtony6

    第9楼2010/09/22

    小弟才疏學淺...不曉得那一位天才想出來的...

    (或是有那一本書中有提到此法)

    就我所知~試片厚度似乎不是用這麼粗糙的方式

    去量測

    回到問題...

    如果你硬要打出痕跡~很簡單~把所有的aperture拿掉~

    直接轟試片~

    回某樓...

    EDS mode的電子束是聚焦束~通常beam大小只有1~5 nm

    一定比image mode還弱~

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  • 蓝莓口香糖

    第10楼2010/09/22

    不同的测量方法有不同的精度和适用范围,使用时也需要知道一些必要的参数。很多时候只需要对厚度做粗略估算,不需要得到很精确的数值,或者其它方法需要的出参数无法得到。关于用污染斑的方法,可以参考David Williams的书第一版629页,或者第二版670页。拿掉所有光阑直接轰击是做Beam Shower方法,这样得不到污染斑,反而可能越轰越干净。EDS模式是聚焦束,会损失一部分束流,但是光斑很小,所以束流密度反而比普通模式大。

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