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【求助】膜与基底的结合力较差会出现什么情况呢

songbin664

2010/10/13

扫描电镜（SEM/EDS）

钢基底上的涂层，起皱的应该是氧化铝，氧化铝和钢基底之间本该有一层厚度约为0.5微米的Al层，但整个涂层起皱了。是用金刚石刀切的，然后用酒精棉沾着浓盐酸擦了一下，也就10s左右。为什么会出现这种情况呢？大家在金属基地上制备薄膜时不知是否出现过这种情况？

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该帖子已被版主-huangtao0307加5积分，加2经验;加分理由:鼓勵﹐歡迎繼續接問

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linzq

第1楼2010/10/13

断裂时破坏了。这样的断裂基本都是不能用的，基本都不行。要用专用的仪器经好几道手续才行
songbin664(songbin664) 发表:钢基底上的涂层，起皱的应该是氧化铝，氧化铝和钢基底之间本该有一层厚度约为0.5微米的Al层，但整个涂层起皱了。是用金刚石刀切的，然后用酒精棉沾着浓盐酸擦了一下，也就10s左右。为什么会出现这种情况呢？大家在金属基地上制备薄膜时不知是否出现过这种情况？

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songbin664

第2楼2010/10/13

不是破坏了，是金属基底上的涂层，断面样品。我应该怎么做样呢？高手指教啊
linzq(linzq) 发表:断裂时破坏了。这样的断裂基本都是不能用的，基本都不行。要用专用的仪器经好几道手续才行

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tutm

第3楼2010/10/13

切割后将断面磨光试试

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songbin664

第4楼2010/10/14

已经磨过的，用4000目的砂纸磨的，然后沾了点浓盐酸擦过。
tutm(tutm) 发表:切割后将断面磨光试试

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linzq

第5楼2010/10/14

所以断面破坏的比较严重，还要抛光。最后是离子抛光。抛光最好用抛光机用抛光液，调整好力度。离子抛光是不可缺少的
songbin664(songbin664) 发表:已经磨过的，用4000目的砂纸磨的，然后沾了点浓盐酸擦过。

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huangtao0307

第6楼2010/10/14

切片后有FIB切一點﹐因為切片會改變表面的結構.分析會產生誤區.
songbin664(songbin664) 发表:不是破坏了，是金属基底上的涂层，断面样品。我应该怎么做样呢？高手指教啊

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