扫描电镜（SEM/EDS）
lich_dc
第1楼2010/12/05
喷铱来说基本上现在的溅射仪比较难做。你说的应该是上海交大微纳米研究院客户，用的是ZEISS的ULTRA电镜， 而他们的喷铱是在一家无锡真空仪器厂专门定做的。
fyrebecca
第2楼2010/12/07
谢谢你的回复.我说的不是交大,是在加拿大的同事用这个方法把样品做好了.我本来就是想去交大微纳米研究院用ZEISS的ULTRA电镜看看我的样品能否做,不过也找不到喷铱的地方,而且铱也只能喷一点点,不能厚了.目前只能用Pt代替了.另外交大分析测试中心有一台FEI的NANASEM可以不用喷金属就能做,我打算也去试试.
michael_heng
第3楼2011/11/15
我知道有一款叫做离子束镀膜仪噶坦生产的可以镀任何靶材的设备
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