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【求助】不同生产过程的二氧化硅红外光谱

zhina0628

2010/12/22

红外光谱（IR）

有大侠帮忙看看这组光谱不。。。化学方面实在不大通。。
图示从上到下为：热氧化，溅射，CVD-TEOS和CVD-Silan。层厚如图中所标
我想问的，主要是什么原因造成的这些层的吸收峰不同呢？谢谢~

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fyrebecca

第1楼2010/12/22

应该他们的水分含量不一样吧，还可以看看3600附近的OH吸收情况

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ghcily

第2楼2010/12/22

如何判定的呢？
楼主的这个图谱只是一部分。
fyrebecca(fyrebecca) 发表:应该他们的水分含量不一样吧，还可以看看3600附近的OH吸收情况

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