请问有搞半导体前工序的朋友吗？请教检查线宽一般用什么仪器？线宽0.35~0.5um

显微镜!

测量线宽用什么工具，显微镜只能检查外观啊！

显微镜也可以测线宽啊!

好像达不到精度啊

可以达到!如OLYMPUS LEXT3000,精度非常高!0.12um但是价钱也高!
一般的显微镜也可以看到,您可以拿着样品到我们公司来看看!1000倍的时候分辨率是0.35um

0.12um精度，测量0.35um线宽，相对误差=0.12um/0.35um=34%
好像太大！
还有你们公司在那里？看样方便吗？

我们的设备可以分辨0.12um的线宽!
我们在全国很多主要城市都有分公司,具体联系方式您可以登陆www.cis88.com.cn查询,或告诉我您的联系方式,我们来与您联系!

谢谢！有问题在咨询你！

哥们用一般的材料检测显微镜就可以了,一般的话壹万多元即可搞定,如果要记录你还可以加测量软件,切记切记.njrgb@126.com