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电子显微镜的原理和应用

lfsming

2005/12/19

扫描电镜（SEM/EDS）

电子显微镜的原理和应用(刘维)

〔摘要〕简单地介绍了电子显微镜产生和发展的历史。介绍了电子的波长，原子对电子的散射和晶体对电子的散射等几个基本问题。电子显微镜的三种成象机制和电子显微镜电子光学部分的组成。最后介绍了电于显微镜的应用，通过这些介绍，使读者能更好的了解和使用电子显微镜这一大型分析仪器。

电子显微镜(以下简称电镜)是迄今为止，在物质结构的研究中能给出的信息最多，分辨本领最高的大型分析仪器。电镜已经在物理学，材料科学和生命科学等领域得到了广泛的应用。为了更好的了解电镜，本文将对电镜原理及应用等有关的基本知识，做一些简单的介绍。

1. 电镜的产生和发展历史

电镜的产生要追溯到19世纪末的一系列科学发现。当时Abbe建立了显微镜分辨率的理论，即认为用显微镜看不到比显微镜的光源波长还小的物体。从这个理论出发，人们意识到用光学显微镜看不到原子。不过从另一方面看，Abbe的理论也指出了，如果能找到一个比光波波长还短的光源，就能提高显微镜的分辨率。1924年是近代科学史上的新纪元。德布罗意提出了波检二重性的假说．并很快的为电子衍射的发现所证实。初国的布什又开创了电磁透镜的理论。具备了上述两个条件，使人们产生了制作一个新型显微镜的想法，即用具有波动性的电子做光源，再用电磁透镜来放大。1932年德国的KnoU和RMsLa制成了第一台电镜。1934年他们又把电镜的分辨串提高到500人，这是近代电镜的先导。

Ruska也因此得到了1986年度诺贝尔物理奖的一半。1939年初国的西门子公司创造出第一台商品电镜。现在，一般的电镜的分辨串已达到原子分辨率的水平(2A)。已经便道尔顿和阿伏加德罗提出的原子和分子的理论得到了直接的证实。今后的电镜．作为大型分析设备，除了提高分辨本领之外，还要向操作自动化，多功能化方向发展，成为功能齐全，使用操作简单，给出的数据可靠的大型仪器。图l给出了各种显微镜的分辨本领的示意图。我们可以看到，在众多种类的显微镜家族中．透射电镜(TEM)是最佳的一种。

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找不着原始图啦，这个图不是很清楚！

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第10楼2005/12/20

太感谢了！真是好人！

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