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【求助】镀膜厚度怎样测量准确?

dinel2004

2011/03/04

扫描电镜（SEM/EDS）

赏
悬赏金额:20积分状态:已解决

请问专家:我在SEM下测量镀膜厚度,怎样放置样品才不至于倾斜,我的SEM好象不能旋转?请帮忙!

小M 2011/03/08

把样品竖起来，用夹具夹住，有那种夹的样品台

fengyonghe 2011/03/05

在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

amdk7 2011/03/07

[quote]原文由 [b]dinel2004(dinel2004)[/b] 发表: 请问专家:我在SEM下测量镀膜厚度,怎样放置样品才不至于倾斜,我的SEM好象不能旋转?请帮忙![/quote]

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fengyonghe

第1楼2011/03/05

在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

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asahi42

第2楼2011/03/05

有截面样品台的呀...

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unht

第3楼2011/03/06

不会动不了吧...你可以使用其他仪器测量，比如AFM，纳米压痕仪也可以...

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dinel2004

第4楼2011/03/07

谢谢!不知道我们的XL30 ESEM有没有倾斜样品的功能?我怎么找不到?
fengyonghe(fengyonghe) 发表:在橡皮泥中参入适量银粉（金粉最好）使其导电，有几十K的电阻就可以使用。样品可以任意方向插入橡皮泥中。我们一直使用这个方法。

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小不董

第5楼2011/03/07

应助达人

要达到倾斜目的，首先要你的SEM有倾斜马达，一般是没有配置的。你看看，有个DFC（好像是这么写的）按钮，是否灰色，如果是灰色，说明没有这个马达的，不能倾斜。
dinel2004(dinel2004) 发表:谢谢!不知道我们的XL30 ESEM有没有倾斜样品的功能?我怎么找不到?

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amdk7

第6楼2011/03/07

dinel2004(dinel2004) 发表:请问专家:我在SEM下测量镀膜厚度,怎样放置样品才不至于倾斜,我的SEM好象不能旋转?请帮忙!

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amdk7

第7楼2011/03/07

那就要看你的样品台是几轴的，如果是5轴的就可以倾转，4轴的就不能倾转

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小M

第8楼2011/03/08

应助达人

5轴是X、Y、Z、R、T吗？
amdk7(amdk7) 发表:那就要看你的样品台是几轴的，如果是5轴的就可以倾转，4轴的就不能倾转

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dinel2004

第9楼2011/03/08

我们的是4轴的，应该不能倾斜。谢谢各位的回答！有什么好办法尽量让断面垂直于样品台？
小M(mitchell_dyzy) 发表:5轴是X、Y、Z、R、T吗？

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小M

第10楼2011/03/08

应助达人

把样品竖起来，用夹具夹住，有那种夹的样品台

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