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【求助】电子束不见了怎么办

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 大家好,我用的是zeiss 1450vp 扫描电镜。

    前两天在实验的中途,先是出现EHT Tripped 的错误信息,这个问题以前遇到过,等重新打开电压和电流后就好了。

    这回不同了,等电压和电流都打开后,就是不见电子束。我检查了灯丝是好的,电脑上面显示电压也有。而且电脑没有任何的错误信息。就是没有电子束到样品上。

    请问高人,遇到这个问题从哪里下手查?

    谢谢
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  • yjshjl

    第1楼2011/03/11

    电子束不见了,典型的是管座受潮变质,或是管座处的聚焦极对地漏电,使电子枪的聚焦极得不到合适的聚焦电压而使电子束散焦。除此以外,行输出变压器不良、管脚护套漏电、电子枪内部的极间漏电等原因,对照解决一下。

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  • unht

    第2楼2011/03/11

    不见电子束,你指的是那个窗口是黑屏吗?一点光都没有?

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  • fengyonghe

    第3楼2011/03/11

    你说的是显像管电视机呀?

    yjshjl(yjshjl) 发表:电子束不见了,典型的是管座受潮变质,或是管座处的聚焦极对地漏电,使电子枪的聚焦极得不到合适的聚焦电压而使电子束散焦。除此以外,行输出变压器不良、管脚护套漏电、电子枪内部的极间漏电等原因,对照解决一下。

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  • yangx

    第4楼2011/03/11

    就是就是。一点光都不见了。可是控制电脑中显示电压和灯丝电流都有。 不知道哪里出了问题。

    unht(unht) 发表:不见电子束,你指的是那个窗口是黑屏吗?一点光都没有?

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  • fengyonghe

    第5楼2011/03/11

    看其他扫描模式能否出现图像,若背散射能出现图像那就是二次电子探测器故障。如果背散射也无图像,估计是电子通道中某一级透镜有故障。

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  • sysmith

    第6楼2011/03/15

    显示屏上有雪花点吗?检查一下高压箱先。

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  • unht

    第7楼2011/03/20

    黑屏是不是第二天用的时候有好了?

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  • kansha

    第8楼2011/03/20

    怎么会有这种情况呢

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