【求助】金膜厚度测量

sartre 2009/03/26

玻璃主要是硅酸钠 氧不能够测 但是可以根据Si和Na进行定量的 [quote]原文由 [B]hb-hd-wy[/B] 发表: 对于测量玻璃作为基材的产品，EDXRF应该不是很好用的，0.5mm的玻璃会被X射线穿透，如果要在玻璃下面在垫上一块金属的话，EDXRF又不能够测量到氧元素。楼主提到的是玻璃上镀了金膜，如果在玻璃上加的CR足够厚的话，EDXRF是可以进行测量的。EDXRF比XPS或者SEM+FIB可要省很多钱呢，建议楼主到XRF版面提问。 [quote]原文由 [B]sartre[/B] 发表: 贴个EDXRF实测数据吧 镀层厚度测定 样品：Cu 板上镀Ni ,再度 Au 条件：20KV, Pd M 滤片 50秒 样品号 次数 元素 厚度 (单位) 1 1 Au 467 Å Ni 3.38 μm 2 Au 462 Å Ni 3.45 μm 3 Au 460 Å Ni 3.39 μm [quote]原文由 [B]hmzhou83[/B] 发表: 我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！ 我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下 [img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701191652_627196_1628190_3.jpg[/img][/quote][/quote][/quote]

fengyonghe 2009/03/26

[quote]原文由 [B]yijian_zq[/B] 发表: [quote]原文由 [B]hmzhou83[/B] 发表: 我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！ 我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下 [img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701191652_627183_1609375_3.jpg[/img][/quote] 只要把样品做好，扫描电镜能不能测的关键在于束斑直径，也就是最高分辨率。如果误差允许5-10纳米，束斑直径3纳米的扫描电镜可以做。如果误差允许1-3纳米，束斑直径1纳米的扫描电镜可以做。型号为SUPRA 55和SUPRA40扫描电镜，束斑直径1纳米。在横截面上玻璃和金膜形成很大的反差，更有利于测量。国内已有长度测量的标样，在测量之前先行校对一下误差。纳米级长度的扫描电镜测量方法通则，标准编号：GB/T 20307-2006 金属履盖层横截面厚度扫描电镜 测量方法 JB/T 7503-1994

dukite2001 2009/03/23

扫描电镜作比较难，主要因为制样就不好做，加上最高端的分辨率目前也有问题，玻璃不导电，选用透射电镜制样做或许最可行！

1350799 2009/03/23

你上网查一下，X射线荧光测厚仪CMI9000，我想这个可以解决你的问题！

huangtao0307 2009/03/25

你有膜厚儀試一下﹐那個應該可以的