扫描电镜(SEM/EDS)
amdk7
第1楼2006/01/10
这是你的系统返油了,主要是你停机时,没有对机械泵放气,从而导致油被压入系统
wzwi
第2楼2006/01/10
问题是我们以前从来都没有对机械泵放气厂家在维护说明上也没有提到这一点,我们用的alcatel的泵况且泵应该有防止返油的措施吧?这一块儿我不太明白,目前也没有查到相关原理,谁知道alcatel的泵是如何防止返油的?谢谢!!!
仆人
第3楼2006/01/10
真空泵内部有一个单向阀,其开闭由一个偏心金属控制:真空泵转子每旋转一周,偏心金属便冲击单向阀臂使其开闭一次。当某种原因使臂变形,则臂上的橡胶小球便无法准确地压住阀孔,这样一来,真空泵油便会在大气压作用下流向真空室。
第4楼2006/01/10
你去查一下机械泵的工作原理,当你换样品的时候,机械泵就要停机,机械泵上有一个放气阀,就会对机械泵放气.
天黑请闭眼
第5楼2006/01/10
嗯,一般的机械泵都有个电磁阀,自动放气的。另外,如果机械泵喷油可能是用了三相电,但是反相了。
第6楼2006/01/10
是的,我看过了这个机械泵上有电磁阀,应该是停泵时就要会自动放气但实际上它似乎并没有放气。也就是说有可能是这个阀有问题了?有个现象是这样的:我们的机械泵已经开了一周了没有关过,一般周一开,周五关,上周一开的时候还是很正常,到了周四噪音突然变大了,感觉跟抽大气一样使用过程抽到同样真空的抽气时间变长了。一开始怀疑连接真空泵进口的波纹管漏气,但出现返油是不是可以排除这种可能?那是什么问题导致机械泵噪音变大呢?谢谢
jzhx68
第7楼2006/01/11
噪音变大除了可能出现漏气外,还可能是和电机与泵体之间的连轴器的问题,看一下连轴器边上的封油纸是否松开,碰到散热风扇?不过这和返油无关
pili
第8楼2006/01/12
很可能是反向了
第9楼2006/01/13
怎么个反向?我们这个泵用了1年了,效果一直很好,只是最近噪声变大才拆开看看没想到一拔进气口管子就喷油如果反向的话是不是早该出问题了?
第10楼2006/01/13
补充一下:我的意思是如果三相电压反向,泵还能继续正常运转?还能一样抽到比较高的真空?出问题之前是能抽到的,而且效果很好噪音也很小谢谢
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