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机械泵油从进气口倒灌进管道是怎么回事儿?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 机械泵油从进气口倒灌进管道是怎么回事儿?

    是这样的,机械泵的下一级是分子泵,中间有个阀门是关的

    打开机械泵的进气口flange时,系统没有放气,打开时油喷了出来,连向分子泵的管道里也有好多油,不知道是打开是喷进去的还是之前已经存在了

    问题是如果是喷进去的,油怎么喷出来了?压力差造成的?进口连的是偏心涡轮
    真空度不算很高,抽真空时噪声还比较大(比平时大,所以卸开看看)

    机械泵体内的油不少,从视窗看在min和max的中间线偏上一点,不应该是油多的问题造成的吧?不太明白

    对这块比较明白的解释一下吧,先谢谢了
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  • amdk7

    第1楼2006/01/10

    这是你的系统返油了,主要是你停机时,没有对机械泵放气,从而导致油被压入系统

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  • wzwi

    第2楼2006/01/10

    问题是我们以前从来都没有对机械泵放气

    厂家在维护说明上也没有提到这一点,我们用的alcatel的泵

    况且泵应该有防止返油的措施吧?这一块儿我不太明白,目前也没有查到相关原理,谁知道alcatel的泵是如何防止返油的?谢谢!!!

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  • 仆人

    第3楼2006/01/10

    真空泵内部有一个单向阀,其开闭由一个偏心金属控制:真空泵转子每旋转一周,偏心金属便冲击单向阀臂使其开闭一次。当某种原因使臂变形,则臂上的橡胶小球便无法准确地压住阀孔,这样一来,真空泵油便会在大气压作用下流向真空室。

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  • amdk7

    第4楼2006/01/10

    你去查一下机械泵的工作原理,当你换样品的时候,机械泵就要停机,机械泵上有一个放气阀,就会对机械泵放气.

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  • 天黑请闭眼

    第5楼2006/01/10

    嗯,一般的机械泵都有个电磁阀,自动放气的。
    另外,如果机械泵喷油可能是用了三相电,但是反相了。

    amdk7 发表:你去查一下机械泵的工作原理,当你换样品的时候,机械泵就要停机,机械泵上有一个放气阀,就会对机械泵放气.

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  • wzwi

    第6楼2006/01/10

    是的,我看过了这个机械泵上有电磁阀,应该是停泵时就要会自动放气

    但实际上它似乎并没有放气。也就是说有可能是这个阀有问题了?

    有个现象是这样的:我们的机械泵已经开了一周了没有关过,一般周一开,周五关,上周一开的时候还是很正常,到了周四噪音突然变大了,感觉跟抽大气一样
    使用过程抽到同样真空的抽气时间变长了。一开始怀疑连接真空泵进口的波纹管漏气,但出现返油是不是可以排除这种可能?那是什么问题导致机械泵噪音变大呢?
    谢谢

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  • jzhx68

    第7楼2006/01/11

    噪音变大除了可能出现漏气外,还可能是和电机与泵体之间的连轴器的问题,看一下连轴器边上的封油纸是否松开,碰到散热风扇?不过这和返油无关

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  • wzwi

    第9楼2006/01/13

    怎么个反向?
    我们这个泵用了1年了,效果一直很好,只是最近噪声变大才拆开看看
    没想到一拔进气口管子就喷油

    如果反向的话是不是早该出问题了?

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  • wzwi

    第10楼2006/01/13

    补充一下:我的意思是如果三相电压反向,泵还能继续正常运转?

    还能一样抽到比较高的真空?出问题之前是能抽到的,而且效果很好噪音也很小

    谢谢

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