PN结怎么测试啊

搜了一下，这个网页上提到了SEM有这个功能：
http://202.38.65.108/ylb/yqsb/lhzx/2005052502.htm
你可以打电话过去询问如何操作。
另外复旦大学材料系国家为分析中心对于半导体的分析具有优势，也有场发射扫描，你可以去那里问问。

谢谢。我问问看

谢谢！我也在找呢！

看你是测什么尺寸的了？
如果是常规尺寸应该比较容易。

电阻档，红表笔接P， 黑表笔接N，电阻值10Ω左右，反之则无限大。就这么测试。

用SEM测试的时候可以看出明暗之间的区别，那样你就可以确定那边是P那边是N

SEM来说，加上EBIC装置，可以测出PN结的位置和损伤研究，好像GATAN的比较出名，可以找科扬购买。

另外听说FIB也可以加上SIMS装置，可以精确测出结深及精度，从而准确控制掺杂浓度。
不知道哪位大侠知道具体厂家？我有用户咨询在FIB上添置SIMS功能的可能性。