60Si2Mn双喷电解液

把双喷液温度和电压调低一点儿试试。

那50uM厚度大概喷多久合适呢，我曾经调低电压到过15Min，时间够久了应该说是，另外请教您一下是不是腐蚀液的流速影响很大？假如流速过小或者过大会怎么样呢？？谢谢啦！

个人经验，也可能不对，仅供参考啊！
你的样品喷出很多洞，喷出来的样品是不是发白？这种情况根据我的经验一般是因为电流大了或者样品被氧化。
至于双喷时间多长合适，我一般喷一个样品都是控制在1-3分钟。电压太低了也不好，电压太低带来的直接结果就是电流太低，电流太低实际上是在抛光样品，而不是减薄。
流速对双喷效果也有影响。流速太慢，两股双喷液不是形成水幕，而是形成梨状（大致如此），而且也不能很快把样品表面的脏东西冲走；流速太快，喷出来的薄区很快就被高速腐蚀液冲掉，薄区很小。