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机械泵 气压抽不下去

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 大家好，我实验室的镀膜仪（型号：CS-400多靶直流、射频磁控溅射仪）出了些问题，想请教大家一下，谢谢。
    刚开始机械泵（型号：2ZX-4）的三相电压反向了，结果导致喷油，然后把电压接好，清理好喷出的油后，机械泵就不能像以前一样快速抽到10pa以下了，大概抽到40pa左右，再往下抽就很慢了，感觉有地方漏气，希望大家能提出一些意见，谢谢。
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    +关注 私聊

  • 社区=冬季=

    第1楼2011/07/05

    先检查哪的接口漏气

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  • 蓝莓口香糖

    第2楼2011/07/10

    是缺油了吧。

0
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  • chengboo

    第3楼2011/07/13

    都检查过了，接口都是密封好的。

    冬季(lylsg555) 发表:先检查哪的接口漏气

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  • chengboo

    第4楼2011/07/13


    油是刚刚换过的，新油。

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:是缺油了吧。

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  • unht

    第5楼2011/07/13

    三相电压反向，不会是烧掉某些部件了吧...

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  • 社区=冬季=

    第6楼2011/07/18

    如果烧掉会有反应呀

    unht(unht) 发表:三相电压反向，不会是烧掉某些部件了吧...

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  • changliboli

    第7楼2011/07/19

    重新换下油试试！

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