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请教AR-XPS计算中氧元素的平均自由程

XPS及其它能谱仪

  • 本人通过AR-XPS测试表面的native oxide厚度。公式中需要知道氧的衰减长度（约等于平均自由程）。不知道哪位高手了解，或者告知在哪里可以查到相应的数据库。我的样品是Si表面的SiO2。谢谢！
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