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DLC涂层做XPS前如何清洗

XPS及其它能谱仪

  • DLC涂层要做一下XPS分析。不知道分析前用什么溶剂进行超声清洗比较好。如果用有机溶剂(乙醇或丙酮),那如何在得到的C 1s峰中区分哪个是DLC的?哪个是有机溶剂的?还有用C1s校正时应当如何操作。同时需要得到C 的准确含量,那如何去掉有机溶剂的影响?谢谢
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  • feixiong5134

    第1楼2011/12/20

    DLC是啥了?
    你如果用乙醇或丙酮清洗不可避免的会带入C-C,C-O或C=C键

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  • jlccer

    第2楼2011/12/21

    DLC 是类金刚石膜。如果不用乙醇和丙酮,那应该用什么来清洗?谢谢

    feixiong5134(feixiong5134) 发表:DLC是啥了?
    你如果用乙醇或丙酮清洗不可避免的会带入C-C,C-O或C=C键

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  • feixiong5134

    第3楼2011/12/21

    你如果怕表面被污染了,可以在测试前要求测试人员把表面的刻蚀掉。
    我也没想到拿啥清洗,呵呵

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