x射线光电子能谱仪，x射线衍射仪、x射线荧光分析仪

介绍几本书：
《 X射线荧光光谱分析 》--[ 吉昂，陶光仪，卓尚军... ] [2003-03 ]
《 X光衍射技术基础 》--------[ 王英华主编 ] [1993年 ]
《 X射线衍射技术及设备 》---[ 丘利，胡玉和编著 ] [1998年 ]
《 X射线衍射仪技术 》--------[ 邱道益编著 ] [1994年 ]
《 现代光谱分析手册 》--------[ 万家亮编著. ]
《 X射线光谱分析的原理和应用 》[ (美) (美)伯廷(E.P.Bertin)著；李瑞城等译.] [1983 ]

是利用X射线对物质的不同作用特点，进行不同的应用。

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1、X射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectrometry, XPS），或化学分析用电子能谱（Electron spectroscopy for chemical analysis, ESCA），是一个研究固体表面的非破坏谱学工具．这个技术可以研究任何固体材料并测定除氢以外的所有元素。它的检测度一般是0.l原子百分含量。
ESCA仪器包括：（1）软 X射线源，通常是Mg Kα1,2和 Al Kα1,2；（2）收集发射电子的装置（计数装置），准确测量它们的动能（用一个能量分析器）；（3）提供操作压力约在5×10-6torr（0.67×10－3Pa）的一个真空系统。样品必须是低压固体或冷凝在冷冻台上的液体。用两个可换的X射线源能从俄歇峰中区别出ESCA峰，当用不同的X射线源时，ESCA以动能位移，但俄歇峰的动能不变，能量位置相同。

2、X射线的衍射现象起因于相干散射线的干涉作用。当两个波长相等、位相差固定和振动于同一平面内的相干散射被沿着同一方向传播时，则在不同的位相差条件下，这两种散射波或者相互加强（同相），或者相互减弱（异相）。这些很大数目的原子所产生的相干散射会发生干涉现象，干涉的结果可以使散射的X射线的强度增强或减弱。根据光的干涉原理，只有当光程差为波长的整数倍时，光波的振幅才能互相叠加使光的强度增强，这种现象即为X射线的衍射。发生相长干涉产生的X射线称为X射线的衍射线。
Ｘ射线衍射分析方法在材料分析与研究工作中具有广泛的用途，具有无损和结构分析的优点，由它的衍射图谱可进行如下基本分析：
①    固体由哪些物质组成（物相定性分析）；
②    固体中各物相含量组成（物相定量分析）；
③    有多大量的物质是结晶态（结晶度）；
④    固体中多大应力（残余应力分析）；
⑤    构成固体的晶粒大小及分布（晶粒分析）；
⑥    构成固体的晶粒取向（组织结构分析）。

3、用初级X射线激发原子内层电子所产生的次级X射线叫荧光X射线。基于测量荧光X射线的波长及强度以进行定性和定量分析的方法，称为X射线荧光分析法。
X射线荧光分析是对各种各样材料进行元素测定的一种现代化的通用分析方法，根据不同应用要求，其分析浓度范围可从0.1μg/g高至100％。XRF分析的特点是测定元素范围广，测定精度高，重现性好，样品制备简单，分析速度快。在主要组分分析中，X射线荧光法可与湿化学技术的精度相媲美；但在痕量分析中，它很难检测出低于 0.01％的元素，在绝对量中的极限大约是 10ng。此方法对于有些用湿化学法不可靠的元素及非金属样品的分析有用。X射线荧光法是少数几种能在定量测定中给出5％到10％的相对误差而无需用一套标准的方法之一。
现代XRF已发展成许多分支，除常规的波长色散XRF（WDXRF）和能量色散XRF（EDXRF）外，尚有全反射XRF（TXRF）、同步辐射XRF（SXRF）、偏振XRF、粒子激发XRF（PIXE）等。

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