asahi42
第5楼2011/09/07
关于Zeiss的热场,inlens探头是在电子光路里面的,SE2探头是在电子光路外面,物镜侧面的。所以一般inlens探头的分辨率会比SE2探头高。但是inlens探头的工作需要Beam Booster功能的协助,所以当加速电压超过20kV,Beam Booster功能自动关闭时,inlens探头变不能成像。因此,25kV加速电压下的照片肯定不如20kV的清晰。但是为啥15kV会比20kV差很多,倒是要看了图才能解释了~
觉得照片没有达到热场该有的分辨能力。。。LZ再调调象散?关于束斑,应该在SEM Control对话框中Aperture菜单里面,Aperture Size下拉列表里面选择对应的光阑孔吧~孔径从7.5μm(束流20pA)到120μm(对应束流4~5nA)不等。
0603050306
第6楼2011/09/07
额 原来光阑就是束斑大小啊 感觉还是标准的30比较好 小光阑也试过 并没有太大提高 甚至还略有下降(好像小光阑对比度低一些)
象散消过了 也就只能到这个程度了
我看了看机器验收时的照片 的确分辨率应该可以达到说明书的指标(1nm) 验收用的样品对比度非常高 但是我做钢铁样品始终做不出来这个分辨率
asahi42
第7楼2011/09/07
呵呵,是啊,Zeiss平行光束的一个特点就是没有聚光镜,因此只能通过调节光阑孔径来更改束斑。所有的样品都没法和验收标样比的,标样是碳喷金,对比度大,边界清晰,非常好拍~您可以咨询一下Zeiss的售后,看看能不能到现场指导一下。