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【原创】样品台事故,请大家发表看法(JEOL 6490)

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我们公司的JEOL-6490 在操作过程中,由于样品台失控,导致了样品台和镜筒的接触。具体事故过程如下:

    放样品--抽真空--Z向移动样品
    就在Z向移动的过程中样品台突然失控,鼠标和操作台均无法实现对样品台控制
    (以前也出现过,不过是水平方向移动失控,所以当时没在意)

    停机后从新启动机器,发现Z值与实际值偏差很大,如图:



    已经向JEOL 报修,还未回复;
    大家觉得可能是镜子的哪个方面出了问题?
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  • vivia

    第1楼2009/05/20

    我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
    只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.

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  • 毒菇九剑

    第2楼2009/05/20

    有装背散射电子探头吗?那个东西很容易被撞坏的

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  • pdszhq

    第3楼2009/05/20

    样平台重新初始化下,位置就应该准了。貌似不是很大的故障吧

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  • wuthering

    第4楼2009/05/20

    样品台和镜筒发生碰撞也不算很大的故障??
    你知道样品台正上方的那些都是什么组件么?

    坏一个就1万多美元。。。。

    pdszhq 发表:样平台重新初始化下,位置就应该准了。貌似不是很大的故障吧

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  • wuthering

    第5楼2009/05/20

    我们的镜子也出现过水平失控,水平失控倒不可怕
    就怕碰坏了BSE探头

    vivia 发表:我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
    只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.

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  • heihei727

    第6楼2009/06/02

    6490的样品台控制通信是很脆弱的,不是电脑中毒了吧,致使通信出错?
    初始化之后看看结果如何

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  • 春天的桃子

    第7楼2009/06/03

    也出现过这样的情况,碰到探头就麻烦,最好是不要自己搞

    vivia 发表:我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
    只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.

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  • 永远的菜鸟

    第8楼2009/06/29

    没啥经验和把握的话,把那电镜工程师找来先

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  • 驰奔

    第9楼2009/09/19

    一般有限位开关,厂商应该考虑可能出现这种事件,应该预先避免大的事故出现,
    否则,吃不了兜着走了!

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  • semuser

    第10楼2009/09/21

    限位开关是在样品台移动到行程的极限时起作用,通知电脑别再继续走了,不装样品时可以全行程移动,限位开关有用,但没样品,也不会发生碰撞事故。
    现在电镜上都有碰撞保护功能,当样品接触物镜、探头时,两者的电位差使得样品台停止运动,然后回退到起始位置,不过样品台马达运转速度慢,力量倒挺大,接触了也基本撞瓷实了,坏不会只能看运气了。
    花不花银子,只能看厂家怎么说吧。

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