请教如何用AFM或TEM来准确测定2到10个纳米薄膜的厚度?

AFM用来测量膜厚，目前还比较困难，如果是台阶样的样品还可以！

制成台阶层状样品后测试，一般可得到理想结果。但要注意台阶的高度，要适应扫描管Z方向的测量范围。另外，一定要精确的对扫描管Z方向进行标定，这样才能尽可能的减小误差。

如果为了测薄膜样品的高度，而可以制成台阶层状样品，就又可能影响了薄膜本身的一些性质，本人保留意见！

我做的是溅射薄膜，特意做了有台阶的样品，而且也用AFM对样品进行了扫描，不知道具体要怎么分析样品的厚度，请指教。

如果你已经根据测试的目的做成了台阶样品，那么如果你能使用AFM将这些台阶扫描下来基本上就ok了，如果你能确定一个台阶就是一层薄膜的厚度，那么在分析软件中，垂直于台阶作一个界面分析就可以得到台阶的高度，即这层薄膜的厚度了。个人浅见，如果错误请指正

好，不错，学习中。

一定要精确的对扫描管Z方向进行标定,怎样定标呀,请指教

关键问题是我对AFM的分析软件并不熟悉，对他的很多的功能不是很了解，可以说不知道它分析出来时做什么用的。不知道你会不会用，有说明书之类的介绍吗？

如果样品透明或者半透明，建议用椭偏仪来测。