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多晶硅生产中氯硅烷中总碳(甲基硅烷)质谱分析?

  • shenghuo0903
    2011/10/26
    • 私聊

气质联用（GCMS）

  • 背景：多晶硅含碳偏高，主要是三氯氢硅精馏提纯不够。企业一般是热氢化的回收氢和还原炉的回收氢混着用，氢化炉在1300度以上时，它的石墨罩会和氢气生成CH4，含量高的时候能达到几百个PPM，在还原炉中分解沉积在硅棒中。还有就是吸附塔再生时也能产生一定量的CH4。

    大家都知道甲烷热裂生成炭黑和氢气的反应，就是隔绝空    气加强热到1000至1500度左右.在1100度以下时不可能出现石墨与氢气化合生成甲烷的反应，或者大家也可以用热力学计算一下，先假使二者可以反应，通过平衡常数计算出的含量能有几个ppm就很不容易了。
    CH4(g)    ＝C(石墨)＋2H2(g)     反应自发温度823K

    多晶硅生产中氯硅烷中总碳(甲基硅烷)质谱分析?
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    +关注 私聊

  • symmacros

    第1楼2011/10/26

    应助达人

    附件好像有乱码？用什么版本的office的word编的？

0
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  • iluvm

    第2楼2011/10/26

    应助工程师

    进样是个大问题啊！

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  • shenghuo0903

    第3楼2011/10/26

    具体怎么操作

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  • shenghuo0903

    第4楼2011/10/26

    没有啊 ,我这边打开正常,你的是不是版本需要更新了

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  • symmacros

    第5楼2011/10/26

    应助达人

    我用Word 2003，但现在附件也不见了。

    shenghuo0903(shenghuo0903) 发表:没有啊 ,我这边打开正常,你的是不是版本需要更新了

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  • 七宝

    第7楼2011/10/27

    没有看到附件啊！估计要用碳硫分析仪测试

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