弱弱的问一下,XPS,EDS,XRF的区别?

支持,我也想知道啊~

请各位高人给解释一下啊！！！

说来话长啊！
XPS主要用来测定“表面”（2-5nm）元素“化学状态”和元素相对含量，“半定量”。重金属的分析下限可以到“万分之几”。
EDS测定样品元素相对含量，“半定量”。定量分析下限和XPS差不多。
XRF可以对样品中元素进行“半定量”，也可以进行“精确定量”。某些元素的分析下限可以达到“PPM”级。
差别还有很多。

谢谢了。

电子能谱
能量色散普
荧光光谱

好的
谢谢了

xuexiyixia

XPS，EDS，XRF，三者有较大的区别。XPS主要属于表面分析技术，主要分析表面的元素组分及其价态；EDS和XRF主要分析材料的元素组分，为体组分，使用标准样可进行定量分析，而XPS做出的定量分析为表面组分定量结果；EDS为电镜的附件，需要在真空条件下操作，样品需要导电，优点可进行微区分析，如mapping；XRF无需在真空中进行，样品无需导电，主要用于元素定量分析，如矿物，冶金材料等元素定量分析，一般没有显微分析，即便有此功能，空间分辨率差。XPS能分析价态是它的特色。