ARL3460新更换的真空泵后抽真空抽不下来

光室里面的没有一点压力，不正说明空气被抽走了吗　　　

你先确认下泵有无问题，就把连光室的管拆下来，把你手放那　　开泵看看能不能把你的手吸上

要能吸上的话泵应该没问题，确认下光室是封闭状态吧　

现在问题就是找不到哪地方漏气，连接真空泵和光室的管道抽真空，吸力很好，就是光室没有压力，不知道哪个地方漏气造成的。请问应该怎么查找哪个地方漏气？查找哪些地方？

换泵的时候泄真空的阀门是你换泵唯一会动过的地方，确认换上新泵后又拧紧了，光室其它的地方你也没动，之前不漏怎么会换个泵就漏了；
还有看看通讯有没有问题呀，别抽下真空了没测到

这样是可能发生的,因为之前抽真空时,垫圈被挤压密合,如果时间久了就会变形或硬化,只要真空放掉,再抽真空时,垫圈可能因为变形或硬化,造成无法密合,所以真空会抽不下.ARL真空只能从ATM抽到300的话是大的缝隙造成,300~10就可能是小缝隙造成.
一般的作法是将所有垫圈更新,才能确保密封状态.新的马达应该没有问题,除非接错.

估计不会是密封圈的，换泵的时间能有多长

这里讨论的重点我觉得不是时间,而是压力,因为换真空马达,一定要完全卸除真空,所以密封圈在有压力和没有压力的状态下,会因为塑胶的弹性而改变,换马达时间不会超过五分钟,这个部份我有处理过.

谢谢各位，我再补充一下现象：在换真空泵之前，通过卸掉光室里面的压力，换上真空泵后，光室里面一点压力也没有，用烟检测光室周围也没有发现哪个地方漏气，真空泵和光室之间的管道内压力很大。
因为和厂家报修，现在厂家人手紧张，不能及时派人来修，请各位帮助解决，是什么原因造成光室内没有一点压力。

谢谢各位，我再补充一下现象：在换真空泵之前，通过卸掉光室里面的压力，换上真空泵后，光室里面一点压力也没有，用烟检测光室周围也没有发现哪个地方漏气，真空泵和光室之间的管道内压力很大。
因为和厂家报修，现在厂家人手紧张，不能及时派人来修，请各位帮助解决，是什么原因造成光室内没有一点压力。

是ARL的吗