XPS及其它能谱仪
WANGSJBY
第1楼2012/03/09
现代SEM大多配置了EDS探测器以进行成分分析，对岗位人员并无特殊要求，应该没有X射线泄露X射线泄露。
top_lamp
第2楼2012/03/18
您提到的是与电镜搭配使用的EDS（EDX）还是指单独的能量色散荧光仪EDXRF？如果是电镜搭配使用的EDS，完全不用担心X射线泄露问题。该EDS是接收SEM腔内产生的各种信号中的X射线信号，本身是没有X射线管的。ESH检测的应该是SEM，而不是EDS。如果是EDXRF，这个可以直接检测，但是一般情况下，厂商都有严格的控制的。
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