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XRF测量薄膜厚度的原理是什么?

X射线荧光光谱仪(XRF)

  • 听说可以用XRF来测量薄膜厚度,并且可以测多层膜的厚度,但是不知道原理是什么。请版上的各位老师介绍一下技术原理与操作时注意要点。

    万分感谢!
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  • wpl369

    第1楼2012/04/07

    检测对厚度有要求,但是测厚度还没有应用过

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  • zhangjiancn

    第2楼2012/04/07

    x荧光光谱分析厚度其实是非常简单的,但却需要1个重要的条件--就是标准样品,有了标准样品才能测厚,但也不能测无限厚,其厚度不能超过120左右微米。此外,Uniquant 无标样分析软件自带厚度测量程序且能测里多层膜厚。

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  • zhangjiancn

    第3楼2012/04/09

    zhangjiancn:x荧光光谱分析厚度其实是非常简单的,但却需要1个重要的条件--就是标准样品,有了标准样品才能测厚,但也不能测无限厚,其厚度不能超过120左右微米。此外,Uniquant 无标样分析软件自带厚度测量程序且能测里多层膜厚。

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  • wjwels

    第4楼2012/04/15

    能不能再具体一点,信息太少了。求原理、计算方法、参考文献等等。

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