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【问题】SEM图像模式1下的神奇毛玻璃效果(视频)

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 貌似去年就出现这个问题了,一直没有深入了解,现在来求助大家吧!

    在mode1:Field Free模式下,放大倍数在一定倍数之上时(约2、3万倍),图像会出现点状马赛克,类似于毛玻璃效果,这是什么原因呢?

    疯狂@asahi42,答疑解惑啊~

    [flash=480,400]http://player.youku.com/player.php/sid/XMzgzMzg1NDc2/v.swf[/flash]

    播放密码:youku,原视频地址:http://v.youku.com/v_show/id_XMzgzMzg1NDc2.html
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  • 小M

    第1楼2012/04/25

    应助达人

    似乎视频看得不是很清楚,再补几张图片


    这张是最清楚的一张,仔细看框里面


    这张似乎也能看出点差别


    靠近了拍一张

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  • zhadaoan

    第3楼2012/04/26

    沙发,什么样品啊,这张看着有点荷电效应啊,是不是不导电的样品,降低电压什么的都试过了?问下,那张马赛克是不是倍数越大越明显?

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:

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  • 驰奔

    第4楼2012/04/26

    设置有问题吧!
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  • zhadaoan

    第5楼2012/04/26

    有幸碰到驰奔您了,想开始还是看你的博客入的扫描理论的门,呵呵,依您看,楼上设置主要问题在哪?

    驰奔(srd2009) 发表:设置有问题吧!
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  • fengyonghe

    第6楼2012/04/26

    扫描照片本来就是由马赛克组成的,在一定的条件下可以看到。若图像分辨率设置为1024*1024,图像显示区100mm,则每像素约0.1mm 。放大两倍可以看到马赛克。但还要有束斑配合。选放大倍率20000倍,束斑调整到0.1mm/20000=5nm 。

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  • 小M

    第7楼2012/04/27

    应助达人

    荷电只是局部的,其实这个和样品没有什么关系,我都没有放样品,随便在stage上找了块地方来演示拍这段视频,我都不知道拍的是什么材料。马赛克是倍数越大越明显。

    zhadaoan(zhadaoan) 发表:沙发,什么样品啊,这张看着有点荷电效应啊,是不是不导电的样品,降低电压什么的都试过了?问下,那张马赛克是不是倍数越大越明显?

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  • 小M

    第8楼2012/04/27

    应助达人

    希望是设置的问题,因为如果是设置的问题,那就有的救,而且相对容易解决了。
    之前就关注过这个,可惜这个时间在上班,不知道有没有录像回放可以看?

    驰奔(srd2009) 发表:设置有问题吧!
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  • 小M

    第9楼2012/04/27

    应助达人

    这些信息都可以在图上看到,分辨率1024*884,水平视场宽度8μm,束流80pA,放大倍数3万倍。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:扫描照片本来就是由马赛克组成的,在一定的条件下可以看到。若图像分辨率设置为1024*1024,图像显示区100mm,则每像素约0.1mm 。放大两倍可以看到马赛克。但还要有束斑配合。选放大倍率20000倍,束斑调整到0.1mm/20000=5nm 。

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  • zhadaoan

    第10楼2012/04/27

    之前我也考虑到这个问题,可是才3万倍,显示器应该能满足啊,是不是这个原因,楼主后来解决了没?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:扫描照片本来就是由马赛克组成的,在一定的条件下可以看到。若图像分辨率设置为1024*1024,图像显示区100mm,则每像素约0.1mm 。放大两倍可以看到马赛克。但还要有束斑配合。选放大倍率20000倍,束斑调整到0.1mm/20000=5nm 。

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  • 小M

    第11楼2012/04/27

    应助达人

    再仔细看了冯老师的这段话,似乎明白了原因。我漏讲了一个重要事实,就是两年前,在这样的倍数下还没有马赛克,后来才慢慢有,而且似乎时间越往后,倍数越低就能看到马赛克。猜想是因为随着灯丝发射电流增大,束斑直径变大了。可以验证一下,不过束斑直径在哪里可以找到?

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