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玩玩气路::可控氧含量气氛退火炉快速实现简介

大陆

2012/06/13

物性测试综合讨论

众所周知，氧化物的性能尤其是电磁性能与氧含量关系极为密切，所以对氧化物中的氧含量进行精细控制非常重要，实验室现有的快速退火炉只支持单一气体退火，而要进行氧含量可控的气氛退火则很难，因此对气路技术进行了粗浅的试探。

初步设计草图如下：

经过向七星询价，发现现成模块需要数万元，需要等待数周，并且不能进行氧含量测量，于是决定自己动手制作一个原型模块。

下图是所有这次采购元部件列表：

所有花费约四千元。

经过与我的搭档进行半天的组装，(Ar+O2)氧含量可控的气路完成了，如气路+退火炉照片：

其中线路有限乱，打算将气路封装进一个机箱之中：

需要指出，有两个地方比较关键，一是四通混气：

另是氧气传感器的封装模块：

由于所需控制的氧含量较小，氧气测量模块需要外接一个纳伏表以显示，至于具体的传感器的校准数据及测量控制这块，已经超越本帖的气路话题，不进一步延伸。不过有一点是值得肯定的：

只要用户多花些心思，国产的传感器虽然价格只有数百元，但完全可以替代数千上万元的进口传感器。

精
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老多_小多

第1楼2012/06/15

这套装置是可以根据氧含量来控制流量么

0

大陆

第2楼2012/06/15

氧含量与流量可分别独立被控制。
老多_小多(emoc98311) 发表:这套装置是可以根据氧含量来控制流量么

0

社区=冬季=

第3楼2012/06/17

挺复杂的，不是很理解

0

大陆

第4楼2012/06/18

难道真所谓隔行如隔山？
冬季(lylsg555) 发表:挺复杂的，不是很理解

0

kaifukgd

第5楼2012/06/18

楼主很牛，这种敢于创造的精神甚是值得我们学习，学习了，谢谢楼主的分享

0

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