请参考GB/T 1557-2006 《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》,方法及计算公式均有
无碳无氧标准硅片可以买的到的
测透射,900-1300cm-1,主要测得1107cm-1处Si-O吸收峰,然后用GB中的计算公式去计算
qblue0812(qblue0812) 发表:近期单位内想使用中红外光谱仪检测单晶硅中的间隙氧
不知道有没有先进使用过这种方法
我目前遇到的问题是
1. 无氧无碳片选现在市面上都没有卖了
不知道哪里还可以买到这种氧碳标准硅片
2. 取基线的范围有900~1000 cm-1处也有别的文件写说960~1040cm-1
到底选哪边比较恰当,原因是什么
3.有没有哪家仪器这方面做的比较详实的,可以供我们参考参考