求助！没有电子束啊，高真空上部去，各位务必帮帮忙啊

打电话给厂家咨询

查漏吧，哪里漏气了？

谢谢各位了！

高真空都抽不上去，当然没有电子束。原因可能有两个，一是哪个部位漏气了，另外你检查一下扩散泵，是不是电炉丝或连线断掉了。

但是真空图上的扩散泵的灯是亮的啊

真空度没到,肯定没法加高压的。如果泵都没问题，就检查下是否有漏气吧。两个地方，样品室和枪体部分都要注意到。有一个地方漏高压都没法加的。检查方法也很简单，先连着抽3小时真空（高真空），然后放置8小时（不抽真空），看真空度是否会>250pa,如果>250PA,那不用怀疑，机器某部分漏气了。

首先按楼上的办法查查有没有漏,如果没有的话,再查真空计的设定点是否漂移,再检查扩散泵油是否该换了

不知你的问题解决没有?前几天我们的电镜也有类似问题,工程师建议把钨灯室下面的密封圈再涂些真空脂,试后果然可以.你可以试试.