forzamarco
第1楼2006/08/25
抛砖引玉,自己先说个
1.样品的污染,一些液态,粉末状的样品前处理不够好,会有一些残留,在机台抽真空时会漫布在样品室里,甚至会污染镜头,打破EDS的window.所以对于粉末状的样品要做观察时要压片,液态的要脱水干燥,亚克力切片中的抛光粉要清洗,用超声波振,再干燥,还可以用其他抽真空的设备先粗抽一下.
2.ODP的油蒸气,关机时冷却时间不够,油气会上冲到样品室及枪体中,曾有人说ODP与chamber中间有个隔断阀,但是我没看见过,以前也曾碰到过油气充塞到chanmber及枪体,抽真空要很长的时间,严重的时候HV on后,自我保护电路启动,自动切断高压.因此有ODP的机台,关机时还是要等待一段时间再关闭循环水系统.
以上只是一家之言,请大家指正补充
共工
第3楼2006/08/28
您讲了两个常见但后果很严重的污染,我严重赞同。
粉末污染很头疼,但粉末样本很多, 在场发射电镜上还有粉末被吸入镜筒上部高真空区,污染枪体真空和光阑,处理起来很棘手,还耗时。
油污染如果用分子泵加油机械旋转泵的话, 分子泵倒没有油污染的可能性了,但油旋转泵的润滑油分子也会入侵气路,造成和油扩散泵类似的污染,应该把油旋转泵都换成无油免维护式的。
还有用空压机的电镜,空压机也是油润滑的,也会污染空压管路,应该把他也换成无油式的。